Каталог изданий

Комаров Ф.Ф., Константинов С.В.

Ионная и фотонная обработка материалов

Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирование заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные о современном оборудовании, используемом для ионной и фотонной обработки материалов, а также для изменения свойств ионно-имплантированных слоев. Рассмотрены приложения ионной и фотонной обработки в современных технологиях микроэлектроники и твердотельной электроники.

Для студентов учреждений высшего образования, изучающих физику полупроводниковых материалов, физику твердого тела, физическую электронику, микроэлектронику, методы математической физики.

ISBN Объем, страниц Год издания Цена, бел. руб. Вид издания по характеру информации Полистать книгу (PDF)

978-985-06-3395-8 246 01-2022 24 Гриф Министерства образования Республики Беларусь. Учебное пособие.